category: Наноматериалы
Структуры из плазмы дугового разряда при получении тонких пленок
Изучено неоднородное, но закономерное распределение конденсата капельной фракции плазмы около катодного узла. Метод получения структуры около распыляемого катода может моделировать процессы роста пленок переменного состава, толщины и состояния в данных условиях кристаллизации.
Keywords: высокотемпературные покрытия, плазма, тонкие пленки, ионно-плазменная обработка
Вы можете оставить комментарий к статье. Для этого необходимо зарегистрироваться на сайте.